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ブイ・テクノロジー(7717)、微細加工プロセス用評価・製造装置開発のリソテックジャパンを買収

2020-12-16
株式会社ブイ・テクノロジーは、リソテックジャパン株式会社の全株式を取得し、完全子会社化することを決議したことを発表した。

リソテックジャパン社は、1993年の創業以来培ってきたリソグラフィ技術をコアとしたプロセスの評価解析装置・製造装置・露光解析ツール・シミュレータといったソリューションを、最先端の半導体デバイス分野からパワーデバイス・化合物半導体・MEMSおよびナノインプリント等といった、様々な微細加工に携わるクライアントに届けてきた。

微細加工分野においてレジスト塗布から現像・ポストベークといった各種プロセスを一貫してカバーする同社独自の評価・製造システムに対する評価は高く、同社の事業の更なる成長を後押しすると同時に、同社の知見を活かした露光装置等の開発を進め、グループの半導体分野での事業の成長を目指すとしている。

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